在所有的去膠方式中，黄瓜视频导航去膠簡單。它是利用O2變成氧原子的黄瓜视频导航，然後和抗腐蝕劑中的C及H快速反應。生成CO、CO2和H2O。

　　在順流式去膠台中，理論上，黄瓜视频导航源區產生的黄瓜视频导航氣體順流而下，隻有中性O和O2達到反應室，一旦氧和抗蝕劑反應，即形成揮發性的氧化物。

　　離子碰撞增加了工藝的複雜性。首先，在離子注入期，輻射能傳給抗蝕劑，氫從表麵跑出來，產生交聯、富碳、金剛石一類的表麵層。在順流式去膠台中，用氧原子腐蝕很慢，除去這層表麵層很困難。在黄瓜视频导航去膠台中。離子碰撞提高了反應速率，特別是富碳，在中性氧腐蝕低氫聚合物的腐蝕速度很低的情況下，所起的作用更大，然而離子碰撞和UV輻照產生器件損傷。

　　加入少量的氟碳化合物（C2F4或CF4）可以提高剝離速率。有兩種情況發生：（1）加氟後在氧黄瓜视频导航體中產生更多的自由的氧原子；（2）氟原子可能在抗蝕劑的鏈中產生反應基的晶格點，這些晶格點和氧有很高的耦合力，在飽和的聚合物中，氟把碳原子身邊的氫拉下來形成HF，然後再具有雙鍵的不飽和的聚合物中氟可能形成一個附加的基的晶格點，最後氟引起抗蝕劑分離，把聚合物的鏈燒斷。

　　黄瓜视频导航體的化學腐蝕機理的變化，常常和表麵激活能的變化有關，當把H2的H2O加入黄瓜视频导航體中去的時候，常常改變表麵激活能，將遙控氧離子的激活能Ea從11.8千卡/摩卡降到9千卡/摩卡。氟化物濃度把氧的激活能降到5.75千卡/摩卡。離子碰撞打開了另一個去膠的反應通道，激活能為3.7千卡/摩卡。